[发明]采用金属基片制备垂直GaN基LED芯片的设备

2016/10/21 9:51:24 人评论 次浏览 分类:科技创新

 专利名称:采用金属基片制备垂直GaN基LED芯片的设备
专利类别:发明
申请号或专利号:201210247144.8
专利申请日:2012.07.17
摘要:本发明所公开的是一种采用金属基片制备垂直GaN基LED芯片的设备,包括计算机信息采集控制器、反应室、金属基片装料室、气相金属有机物供应装置、氮气和/或氢气和/或氨气供应装置、ECR等离子体源供应装置、真空度计量器、反射高能电子衍射仪与荧光屏相对组成的成像显示器,以其还包括磁场线圈支撑圆筒、光电报警器、法拉第筒、电子探针和直流偏压电源为主要特征,具有结构合理、镀膜质量好、工效高、所述芯片制备成本低等特点。
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