电弧离子镀高端装备及涂层加工

2016/8/24 15:52:36 人评论 次浏览 分类:研究院新闻

重点项目图片:
重点项目详情:
         
        现代刀模具广泛需要硬质涂层来提升使役性能,在众多薄膜制备方法中电弧离子镀制备工艺具备高离化率、低温沉积、致密性和高膜基结合力等优点,加上绿色制造无污染生产的特征,成为业界最受青睐的技术。我们长期从事等离子体负载特性、沉积温度计算预测和大颗粒净化机制等的工艺基础研究,形成了特有的增强过滤脉冲偏压电弧离子镀技术,掌握核心的脉冲电源的参数及设计方案,解决了传统电弧离子镀在大颗粒污染、沉积温度高、易引发微弧击穿等技术瓶颈,可解决微钻镀膜应力集中造成尖端崩膜难题和深孔内表面镀膜难问题。同时,通过国际合作,吸收了国际先进的控制技术和弧源设计,形成了完整的装备设计和工艺提供能力,已在实验室完成小型化设备,并有多台工业样机可提供涂层加工服务。
        除了在关键的控制电源和电弧源方面具有专利技术外,还具有如下设备特点,保证了该装置在国内具有技术领先优势和市场前景:①采用了新型材料的高功率加热管,改变了国有设备加热管寿命较低,加热管材料规格不统一,过热放气现象;②为了减少靶材融滴和大颗粒,提高薄膜平滑度,采用了2S和3S新型蒸发源设计,极大地推动了CrN膜系在汽车零部件方面的应用;③为了实现PVD法制备DLC薄膜,开发了专用的2SD蒸发源,即在一个蒸发源上安装2个靶材,实现多层纳米膜和多膜系的结合;④为了提高结合强度,在传统的蒸发源轰击的基础上,增加氩离子轰击和灯丝轰击辅助工艺;⑤考虑操作便捷和维修简单,真空室采用双开门设计,蒸发源和防护板的维护更加简单;⑥开发了智能化全自动控制系统,在线记录实验数据和故障诊断;⑦为降低制造成本,稳定质量,缩短工期,压缩售后服务费用,从整体设计到零部件选用采用标准化管理。
        我们为用户提供标准化系列装备及相关工艺;针对用户需求设计薄膜设备;提供来料加工服务;提供后续技术支撑。
-->